（来源：上观新闻）
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当年6月完🐩🥁成对芯源微🏔（688037.🤗SH）的控股收🇷🇴购，持⬅✳股比例17™😠.87%，🐬🇱🇻成为其第一大股东🏣📉并取得👩🍳控制权，丰🇲🇷🍕富了公🇭🇰©司在物🛄理刷洗和单片清🎮洗领域🇧🇹➡的布局；同年12👨🦱月，收购🏨☠成都国泰真空🥐设备有限公🇪🇸司90%的股权🇮🇷。” 设备制造商正💩在开发集🌤🤞群式工具来应对🎵🇧🇻欧美日韩一区二区三区一这一挑战，这些⛴🤘工具能够在机器🤹♀️内部维持局🇸🇭🧞♂️部洁净🍵环境，在工🏘具层面🔖🏇上达到接近晶圆🚵♀️厂洁净度🍚的标准，🧁而无需整个工🍧♋厂都达◻到这些标准🌕。
